GB/T 47767-2026 微机电系统（MEMS）技术 压电微悬臂梁机电转换特性的测试方法

标准编号：GB/T 47767-2026

标准名称：微机电系统（MEMS）技术 压电微悬臂梁机电转换特性的测试方法

英文名称：Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric MEMS cantilever

发布日期：2026-07-02

实施日期：2027-02-01

提出单位：国家标准化管理委员会

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会、全国集成电路标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准委

起草人

余燕、李根梓、杨浩、马卓标、张革、方东明、王科、程宇心、夏长奉、周再发、董接莲、史进东、王俊强、曹诗亮、卢奕鹏、张云辉、张舒楠、王春举、卢敏仪、闫晓剑、熊贵林

起草单位

合肥华凌股份有限公司、宁波科联电子有限公司、长虹美菱股份有限公司、海信集团控股股份有限公司、无锡小天鹅电器有限公司、北京晨晶电子有限公司、无锡华润上华科技有限公司、东南大学、中国电力科学研究院有限公司、苏州大学、美的集团股份有限公司、中机生产力促进中心有限公司、中北大学、广州自平测控科技有限公司、上海新微技术研发中心有限公司、北京智芯微电子科技有限公司、广州天极电子科技股份有限公司、西北工业大学、成都航天凯特机电科技有限公司、北京大学、四川长虹虹微科技有限公司、无锡吴越物芯科技有限公司

标准范围

微悬臂梁是微传感器和微执行器的典型结构，为了获得具有微器件结构的压电薄膜的实际和精确的压电系数。本文件描述了微悬臂梁上压电薄膜机电转换特性的测试方法。本文件适用于通过MEMS工艺制造的微悬臂上的压电薄膜机电转换特性的测试，适用于消费者、工业或任何其他压电器件的应用。

标准文档截图