GB/T 47901-2026 激光器外延芯片用砷化镓衬底

国家标准

标准编号：GB/T 47901-2026

标准名称：激光器外延芯片用砷化镓衬底

英文名称：Gallium arsenide substrates for laser epitaxial chips

发布日期：2026-07-02

实施日期：2027-02-01

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准委

起草人

王金灵、周铁军、吴春龙、惠峰、吴德华、刘强、陈春明、郑兆河、刘留、单智发、孙聂枫、马金峰、王玉、狄聚青

广东先导微电子科技有限公司、云南鑫耀半导体材料有限公司、山东华光光电子股份有限公司、厦门银科启瑞半导体科技有限公司、桂林光隆科技集团股份有限公司、全磊光电股份有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、北京大学东莞光电研究院、广东晶智光电科技有限公司

本文件规定了激光器外延芯片用砷化镓衬底的分类和牌号，技术要求，试验方法，检验规则，标志和随行文件，包装、运输和贮存，以及订货单内容。

本文件适用于传感器、光通信等领域用激光器外延芯片用砷化镓衬底（以下简称“衬底片”）的生产、检验与质量评价。