GB/T 47902-2026 金刚石单晶抛光片

标准编号：GB/T 47902-2026

标准名称：金刚石单晶抛光片

英文名称：Polished single-crystal diamond wafers

发布日期：2026-07-02

实施日期：2027-02-01

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准委

起草人

刘留、尹士平、贺东江、王少龙、赵继文、朱嘉琦、霍晓迪、王琦、王希杰、冯参军、吕继磊、王来福、朱赞芳、付安庆、耿方娟、欧琳芳、李素青、于金凤、金鹏、王阳、惠峰、寇明虎、彭献伟、高礼明、孙方远、刘永、王志强

起草单位

安徽光智科技有限公司、中国石油集团工程材料研究院有限公司、河南碳真芯材科技有限公司、中国科学院半导体研究所、德州学院、云南鑫耀半导体材料有限公司、河北蓝思泰克光电科技有限公司、河南平煤神马超硬材料股份有限公司、湖北碳六科技有限公司、昊远精测光电科技（上海）有限公司、广东先导稀材股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、浙江先导微电子科技有限公司、哈尔滨工业大学、中国电子科技集团公司第十三研究所、北京大学东莞光电研究院、北京特思迪半导体设备有限公司、河南鸿泰钻石科技有限公司、河南路纳尔新材料有限公司、河南省惠丰金刚石有限公司、深圳市常兴技术股份有限公司

标准范围

本文件规定了金刚石单晶抛光片的分类和牌号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。

本文件适用于微波等离子化学气相沉积（MPCVD）制备的金刚石单晶抛光片的生产、检验与质量评价。

标准文档截图