GB/T 47917-2026 300mm硅外延片

国家标准

标准编号：GB/T 47917-2026

标准名称：300mm硅外延片

英文名称：300 mm silicon epitaxial wafers

发布日期：2026-07-02

实施日期：2027-02-01

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准委

起草人

徐新华、陈海婷、张友海、朱晓彤、贺东江、顾广安、李素青、高鹏飞、兰洵、齐旭东、施海南、邓雪华、陈猛

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本文件规定了直径300mm硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。

本文件适用于在直径300mm硅抛光片衬底上生长的硅外延片。产品用于制作线宽14nm及以上集成电路和分立器件。