JJF(蒙) 113-2025 探针型导电类型及电阻率测试仪测试规范

内蒙古自治区地方计量技术规范

标准编号：JJF(蒙) 113-2025

标准名称：探针型导电类型及电阻率测试仪测试规范

英文名称：Measurement Specification for Probe-type Conductivity Type and Resistivity Tester

发布日期：2025-05-01

实施日期：2025-08-01

归口单位：内蒙古自治区市场监督管理局

起草人

郝继君（包头市检验检测中心）;康艳艳（包头市检验检测中心）;丁志军（包头市检验检测中心）;于爱萍（包头市检验检测中心）;庞文嘉（包头市检验检测中心）;潘炳全（内蒙古自治区计量测试研究院）;张素清（包头市检验检测中心）

包头市检验检测中心;内蒙古自治区计量测试研究院

探针型导电类型测试仪按探针数量一般分为二探针、三探针等，主要用于判别半导体材料类型。由探针、电气测试部分、显示装置等组成。电气部分一般包括直流数字电压表、恒流源、DC-DC电源变换器等部件。

探针型电阻率测试仪按探针数量一般分为二探针、四探针等，是用来测量半导体材料的电阻率或硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及导电玻璃和其他导电薄膜方块电阻的测量仪器。主要由探针、电气测试部分、显示装置等组成。电气部分一般包括直流数字电压表、恒流源、DC-DC电源变换器等部件。