GB/T 34894-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法

标准编号：GB/T 34894-2017

标准名称：微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法

英文名称：Micro-electromechanical system technology—Measuring method for strain gradient measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer

发布日期：2017-11-01

实施日期：2018-05-01

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会

执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

胡晓东、郭彤、李海斌、崔波、程红兵、于振毅、朱悦、裘安萍

起草单位

中机生产力促进中心、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、南京理工大学、天津大学、中国电子科技集团公司第十三研究所

标准范围

本标准规定了基于光学干涉显微镜获取的微悬臂梁结构表面形貌进行应变梯度测量的方法。

本标准适用于表面反射率不低于4％且使用光学干涉显微镜能够获取表面形貌的微悬臂梁结构。

标准文档截图