GB/T 14601-2025 电子特气 氨

标准编号：GB/T 14601-2025

标准名称：电子特气 氨

英文名称：Electronic specialty gas—Ammonia

发布日期：2025-03-28

实施日期：2025-10-01

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准委

起草人

王新喜、孙猛、赵趫、曹素英、赵素粉、万娟秀、许军州、冀延治、陈艳珊、吴杰、周博晓、杜鹏举、吴靓、方华、杨康、黄辉、李春华、宫兵、李阳、梁永强、唐霞梅、陈春玉、黄进、王超、孙福楠、施旖旎、何经余、钟九生、朱明、丁高松、胡帅、傅铸红、王百林、刘峰、邱雅惠、陈洁、高天东、何波、施卫丰、姜阳、王大为、易达文、梁成科、高静、赵刚、周鹏云

起草单位

苏州金宏气体股份有限公司、大连保税区科利德化工科技开发有限公司、福建久策气体股份有限公司、中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司、江西华特电子化学品有限公司、湖北和远气体股份有限公司、浙化省标准化研究院、上海申南特种气体有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投资(上海)有限公司、上海市计量测试技术研究院、浙江东开半导体科技有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、浙江建业化工股份有限公司、海宁市英德赛电子有限公司、广东华特气体股份有限公司、惠州市华达通气体制造股份有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、宿州伊维特新材料有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、上海飞择科技有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、和立气体（上海）有限公司、西南化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司

标准范围

本文件规定了电子级氨的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息。

本文件适用于工业液氨提纯制备的电子级氨。

标准文档截图