GB/T 30868-2025 碳化硅单晶片微管密度测试方法

标准编号：GB/T 30868-2025

标准名称：碳化硅单晶片微管密度测试方法

英文名称：Test method for micropipe density of monocrystalline silicon carbide

发布日期：2025-08-01

实施日期：2026-02-01

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准委

起草人

姚康、许蓉、王英明、张红岩、李素青、刘小平、晏阳、王志勇、李明达、张超越、赵新田、陈基生、佘宗静、何烜坤、齐菲、丁雄杰、欧阳鹏根、潘文宾、王明华、胡润光、孙毅、赵丽丽

起草单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所、山东天岳先进科技股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、浙江晶瑞电子材料有限公司、湖州东尼半导体科技有限公司、浙江材孜科技有限公司、中电晶华（天津）半导体材料有限公司、河南中宜创芯发展有限公司、宁波合盛新材料有限公司、北京天科合达半导体股份有限公司、广东天域半导体股份有限公司、安徽长飞先进半导体股份有限公司、南京盛鑫半导体材料有限公司、长飞光纤光缆股份有限公司、连科半导体有限公司、上海优睿谱半导体设备有限公司、哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司、厦门中芯晶研半导体有限公司

标准范围

本文件描述了碳化硅单晶片的微管密度的测试方法，包括化学腐蚀法和偏振光法。

本文件适用于碳化硅单晶片微管密度的测试。

标准文档截图