T/IAWBS 023-2025 金刚石单晶表面应力分布测定拉曼光谱法

团体标准

标准编号：T/IAWBS 023-2025

标准名称：金刚石单晶表面应力分布测定拉曼光谱法

英文名称：Measurement of surface stress distribution of diamond single crystal-Raman spectroscopy method

发布日期：2025-09-24

实施日期：2025-10-10

团体名称：中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟

起草人

曹繁秋、霍晓迪、金鹏、郑红军、李国平、闫方亮、屈鹏霏、王镇、沈婧、胡恩萍、李红东、刘祎晨、陈健

中国科学院半导体研究所，德州学院，堀场（中国）贸易有限公司，中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟，江苏卓远半导体有限责任公司，北京聚睿众邦科技有限公司，吉林大学，河南六面顶新材料科技有限公司

本文件规定了立方金刚石单晶表面应力分布的测试方法。

本文件适用于立方金刚石单晶表面应力分布的测试。