ISO 6145-7:2018 气体分析 动态容量法制备校准混合气体 第7部分：热质流控制器

标准编号：ISO 6145-7:2018

中文名称：气体分析 动态容量法制备校准混合气体 第7部分：热质流控制器

英文名称：Gas analysis — Preparation of calibration gas mixtures using dynamic methods — Part 7: Thermal mass-flow controllers

发布日期：2018-12

标准范围

ISO 6145是一系列涉及用于制备校准气体混合物的各种动态方法的文件。本文件规定了一种通过使用热质量流量控制器从标称纯气体或气体混合物连续制备校准气体混合物的方法。该方法适用于制备非反应物质的混合物，即不与热质量流量控制器或辅助设备中的流动路径的任何构造材料反应的那些。如果采用该方法制备校准气体混合物，最佳性能如下:通过将标准不确定度乘以覆盖因子k=2获得的相对扩展测量不确定度U不大于2%。如果使用预混合气体代替纯气体，摩尔分数低于10？可得6。质量流量的测量不是绝对的，流量控制器需要独立校准。该方法的优点在于，可以在连续的基础上制备大量的校准气体混合物，并且如果使用适当数量的热质量流量控制器，则可以像二元混合物一样容易地制备多组分混合物。注:基于热质量流量控制器的气体混合系统以及一些包括计算机化和自动控制设施的系统是市售的。

标准预览图