ISO 15632:2021 微束分析 与扫描电子显微镜（SEM）或电子探针微分析仪（EPMA）一起使用的能量色散x射线光谱仪（EDS）的规范和检查用的选定仪器性能参数

标准编号：ISO 15632:2021

中文名称：微束分析 与扫描电子显微镜（SEM）或电子探针微分析仪（EPMA）一起使用的能量色散x射线光谱仪（EDS）的规范和检查用的选定仪器性能参数

英文名称：Microbeam analysis — Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS) for use with a scanning electron microscope (SEM) or

发布日期：2021-02

标准范围

这份文件定义了表征能量色散X的最重要的量？射线光谱仪由半导体探测器、前置放大器和信号处理单元组成。本文件仅适用于采用固态电离原理工作的半导体探测器的光谱仪。本文件规定了安装在扫描电子显微镜（SEM）或电子探针微量分析仪（EPMA）上的此类光谱仪的最低要求以及如何检查相关仪器性能参数。用于实际分析的程序在ISO 22309[2]和ASTM E1508[3]中有概述，超出了本文件的范围。

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