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ISO 22278:2020 精细陶瓷（高级陶瓷、高级工业陶瓷） 用平行x射线射线衍射法测定单晶薄膜（晶片）结晶质量的试验方法
标准编号：ISO 22278:2020
中文名称：精细陶瓷（高级陶瓷、高级工业陶瓷） 用平行x射线射线衍射法测定单晶薄膜（晶片）结晶质量的试验方法
英文名称：Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) — Test method for crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using XRD method with parallel X-ray beam
发布日期：2020-08
标准范围
本文件规定了使用平行X射线束X射线衍射法测量单晶薄膜（晶圆）结晶质量的试验方法。本文件适用于所有作为块体或外延层结构的单晶薄膜（晶圆）。
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