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ISO 14644-3:2005 洁净室及相关受控环境 第3部分：试验方法
标准编号：ISO 14644-3:2005
中文名称：洁净室及相关受控环境 第3部分：试验方法
英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments — Part 3: Test methods
发布日期：2005-12
标准范围
ISO 14644-3:2005规定了空气颗粒清洁度的指定分类以及洁净室和洁净区性能表征的试验方法。规定了两种类型的洁净室和洁净区的性能测试:单向流动的洁净室和非单向流动的洁净区，在三种可能的占用状态下:竣工、静止和运行。ISO 14644-3:2005不适用于洁净室或分离装置中产品或过程的测量。
标准预览图
