ISO 29301:2010 微束分析 分析透射电子显微镜 使用具有周期性结构的标准材料的图像放大校准法

标准编号：ISO 29301:2010

中文名称：微束分析 分析透射电子显微镜 使用具有周期性结构的标准材料的图像放大校准法

英文名称：Microbeam analysis — Analytical transmission electron microscopy — Methods for calibrating image magnification by using reference materials having periodic structures

发布日期：2010-06

标准范围

ISO 29301:2010规定了适用于透射电子显微镜（TEM）中宽放大范围内记录的图像的校准程序。用于校准的标准物质具有周期性结构，例如衍射光栅复制品、半导体的超晶格结构或用于X射线分析的分析晶体，以及碳、金或硅的晶格图像。ISO 29301:2010适用于记录在照相胶片或成像板上的TEM图像的放大率，或由内置在数码相机中的图像传感器检测的TEM图像的放大率。ISO 29301:2010还涉及比例尺的校准。ISO 29301:2010不适用于专用临界尺寸测量TEM（CD-TEM）和扫描透射电子显微镜（STEM）

标准预览图