ISO/TS 80004-8:2020 纳米技术 词汇表 第8部分：纳米制造工艺

标准编号：ISO/TS 80004-8:2020

中文名称：纳米技术 词汇表 第8部分：纳米制造工艺

英文名称：Nanotechnologies — Vocabulary — Part 8: Nanomanufacturing processes

发布日期：2020-11

标准范围

本文件定义了纳米技术领域中与纳米制造工艺相关的术语。本文件中的所有工艺术语均与纳米制造相关，然而，许多列出的工艺并不完全与纳米尺度相关。定义中注明了非排他性术语。根据可控条件，此类工艺可在纳米尺度或更大尺度上产生材料特征。与纳米制造相关的工具、组件、材料、系统控制方法或计量方法的名称还有许多其他术语，超出了本文件的范围。ISO/TS 80004系列其他部分的术语和定义复制在第3条中，以便于上下文和更好地理解。

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