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ISO 15632:2002 微光束分析-半导体探测器X射线光谱能量分散的仪器规范
标准编号：ISO 15632:2002
中文名称：微光束分析-半导体探测器X射线光谱能量分散的仪器规范
英文名称：Microbeam analysis — Instrumental specification for energy dispersive X-ray spectrometers with semiconductor detectors
发布日期：2002-12
标准范围
ISO 15632定义了表征能量色散X射线光谱仪（EDS）的最重要数量，该光谱仪由半导体探测器、前置放大器和信号处理单元组成，是必不可少的部件。本国际标准仅适用于带半导体探测器的光谱仪，其工作原理为固态电离。它规定了连接到电子探针微分析仪（EPMA）或扫描电子显微镜（SEM）的光谱仪的最低要求。分析的实现不在本国际标准的范围内。
标准预览图
