ISO 23420:2021 微束分析 分析电子显微镜 电子能量损失谱分析用能量分辨率的测定方法

国际标准(ISO)

标准编号:ISO 23420:2021

中文名称:微束分析 分析电子显微镜 电子能量损失谱分析用能量分辨率的测定方法

英文名称:Microbeam analysis — Analytical electron microscopy — Method for the determination of energy resolution for electron energy loss spectrum analysis

发布日期:2021-04

标准范围

本文件规定了扫描透射电子显微镜或配备电子能量损失(EEL)光谱仪的透射电子显微镜中能量分辨率的测定程序。本文件适用于柱内型EEL光谱仪和柱后型EEL光谱仪。这些EEL信号检测系统适用于并行检测系统和串行检测系统。

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