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ISO 25178-603:2013 产品几何量技术规范（GPS） 表面结构：区域 第603部分：非接触式（相移干涉显微镜）仪器的标称特性
标准编号：ISO 25178-603:2013
中文名称：产品几何量技术规范（GPS） 表面结构：区域 第603部分：非接触式（相移干涉显微镜）仪器的标称特性
英文名称：Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments
发布日期：2013-10
标准范围
None
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