GB/T 30858-2025 蓝宝石单晶衬底抛光片

国家标准

标准编号：GB/T 30858-2025

标准名称：蓝宝石单晶衬底抛光片

英文名称：Polished mono-crystalline sapphire substrate wafer

发布日期：2025-10-31

实施日期：2026-05-01

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准委

起草人

鲁雅荣、杨诗音、郑东、杭寅、韩凤兰、李宁、陈斌、康森、李素青、张能、陆椿、武金龙、董福元

天通银厦新材料有限公司、青岛华芯晶电科技有限公司、广东中图半导体科技股份有限公司、宁夏材料研究学会、深圳中机新材料有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、徐州凯成科技有限公司、北方民族大学

本文件规定了蓝宝石单晶衬底抛光片（以下简称“蓝宝石衬底片”)的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。

本文件适用于直径不大于200 mm的蓝宝石衬底片。产品主要用于外延生长半导体薄膜、生产蓝宝石图形化衬底、蓝宝石键合衬底等。