GB/T 47089-2026 蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法

标准编号：GB/T 47089-2026

标准名称：蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法

英文名称：Test method for determining geometrical parameters of patterns on patterned sapphire substrate

发布日期：2026-01-28

实施日期：2026-08-01

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准委

起草人

张能、米波、王子荣、朱广敏、王新强、徐军、肖桂明、朱晶、康凯、鲁雅荣、袁冶

起草单位

广东中图半导体科技股份有限公司、京东方华灿光电股份有限公司、松山湖材料实验室、徐州美兴光电科技有限公司、天通银厦新材料有限公司、南京同溧晶体材料研究院有限公司

标准范围

本文件描述了蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法。

本文件适用于蓝宝石图形化衬底表面单个图形和图形阵列几何参数的测定。

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