T/CZSBDTHYXH 001-2023 半导体晶圆缺陷自动光学检测设备

团体标准

标准编号：T/CZSBDTHYXH 001-2023

标准名称：半导体晶圆缺陷自动光学检测设备

英文名称：Wafer defects Automatic optical inspection equipment

发布日期：2023-08-08

实施日期：2023-08-09

团体名称：常州市半导体行业协会

起草人

刘建明、刘庄、张彦鹏、周佼、王宏才、郭魂、张鸣杰

江苏维普光电科技有限公司、常州市半导体行业协会、国家半导体照明产品质量检验检测中心（江苏）（常州检验检测标准认证研究院）、常州工学院

本标准规定了半导体晶圆缺陷光学检测仪的术语和定义、产品型号、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存要求。

本文件适用于半导体晶圆缺陷光学缺陷设备（以下简称“检测设备”）。