YS/T 1780-2025 氧化铟镓锌靶材

标准编号：YS/T 1780-2025

标准名称：氧化铟镓锌靶材

英文名称：Indium gallium zinc oxide(IGZO)target

发布日期：2025-04-10

实施日期：2025-11-01

提出单位：全国有色金属标准化技术委员会

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

曾墩风、王志强、曾探、葛春桥、余芳、黄暂成、李庆丰、蒋少英、李喜峰、文宏福、陈饮忠、陈光园、李强、童培云、陆映东、骆胜磊、程波、李培林、张科

起草单位

芜湖映日科技股份有限公司、中山智隆新材料科技有限公司、先导薄膜材料（广东）有限公司、广西晶联光电材料有限责任公司、河北恒博新材料科技股份有限公司、株洲火炬安泰新材料有限公司、上海大学、广东欧莱高新材料股份有限公司、福建阿石创新材料股份有限公司

标准范围

本文件规定了氧化钢嫁锌靶材（以下简称“IGZO靶材”）的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。

本文件适用于以氧化锯粉末、氧化嫁粉末、氧化锌粉末为原料，以常压烧结工艺生产的氧化锌靶材，主要应用于新型显示器件薄膜晶体管液晶显示器（TFT-LCD）、有机发光二极管（OLED）等产业，用来制备透明非晶态氧化物半导体薄膜晶体管沟道层半导体材料。

标准文档截图