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ISO 14644-12:2018 清洁室及相关受控环境 第12部分：用纳米颗粒浓度监测空气清洁度的规范
标准编号：ISO 14644-12:2018
中文名称：清洁室及相关受控环境 第12部分：用纳米颗粒浓度监测空气清洁度的规范
英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments — Part 12: Specifications for monitoring air cleanliness by nanoscale particle concentration
发布日期：2018-08
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